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  • 产品描述

产品说明:

磁流体密封
网络化控制器
MCBF大于1000万次
SEMI认证S2F47
先进的防碰撞保护功能
手指及接口可用户定制

 

参数:

结构形式Mechanical Structure

柱坐标型/SCARACylindrical Coordinate/SCARA

自由度数DOF

1

负载能力Payload

5kg

盘径尺寸 Object Size

450mm

最大运动范围 Moving Range

升降轴 (Z)  
 回转轴 (T)  
 伸展轴 (R) R850mm

最大速度 Maximum Moving Speed

升降轴 (Z
 回转轴 (T
 伸展轴 (R) 250mm/s

重复定位精度 Repeatability

升降轴 (Z
 回转轴 (T
 伸展轴 (R) ±0.1 mm (3σ)

耐真空度Base Pressure

10-6 Pa

洁净度Clean Class

CLASS 1

主机重量Body Weight

25 kg



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